Komposisjonsanalyse av materialer
Elektronmikroskoper med detektorer for energidispersiv røntgenspektroskopi (EDS)-systemer brukes til elementkartlegging og semikvantitative mikroanalyser av et bredt spekter av prøver. Ved ELMILAB er ett SEM-instrument (Supra 55) og ett TEM-instrument (JEM 2100) utstyrt med EDS-systemer.
Komposisjonsanalyse av materialer
SEM-EDS-analyser kombineres ofte med topografisk avbildning for å kontrollere elementsammensetningen til interessante strukturer. Den beste analytiske kvaliteten oppnås imidlertid på flate prøver og under høyt vakuum. I dette tilfellet kombineres EDS-analyser vanligvis med tilbakespredningselektronavbildning (BSE), som visualiserer sammensetningsforskjeller ved kontrastvariasjoner. For ikke-ledende prøver må typen beleggmateriale vurderes. Belegging med karbon er vanligst, da dette lette elementet interfererer svært lite med andre elementer.
TEM-EDS-elementkartlegging eller mikroanalyser utføres på svært små partikler eller ultratynne seksjoner ved høyt vakuum. 200 kV TEM ved ELMILAB muliggjør elementanalyser ved svært høye forstørrelser.